高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と評価

• Material Type: 図書
• Title: 高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と評価
• Title Transcription: コウシュツリョク シガイ レーザヨウ コウガク ヘイメン ノ チョウセイミツ カコウ ト ヒョウカ
• Author/Editor: 難波, 義治, 中部大学
• Author Heading: 難波, 義治 ナンバ, ヨシハル
• Publication Date: 1989-
• Publication Date (W3CDTF): 1989
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 超精密加工 チヨウセイミツカコウ; フロート・ポリシング フロート・ポリシング; 表面粗さ ヒヨウメンアラサ; 超精密研削 チヨウセイミツケンサク; STM (走査型トンネル顕微鏡) STM (ソウサガタトンネルケンビキヨウ); 触針式表面粗さ測定器 シヨクシンシキヒヨウメンアラサソクテイキ; 光学式表面粗さ測定器 コウガクシキヒヨウメンアラサソクテイキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01550106
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01550106
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006975208; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975208
• Bibliographic Record Category (NDL): 214