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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウシュツリョク シガイ レーザヨウ コウガク ヘイメン ノ チョウセイミツ カコウ ト ヒョウカ
- Author/Editor
- 難波, 義治, 中部大学
- Author Heading
- 難波, 義治 ナンバ, ヨシハル
- Publication Date
- 1989-
- Publication Date (W3CDTF)
- 1989
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)
- Subject Heading
- 超精密加工 チヨウセイミツカコウフロート・ポリシング フロート・ポリシング表面粗さ ヒヨウメンアラサ超精密研削 チヨウセイミツケンサクSTM (走査型トンネル顕微鏡) STM (ソウサガタトンネルケンビキヨウ)触針式表面粗さ測定器 シヨクシンシキヒヨウメンアラサソクテイキ光学式表面粗さ測定器 コウガクシキヒヨウメンアラサソクテイキ