アルミニウム 銅金属間化合物薄膜のLSIメタライゼーシヨン材料への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: アルミニウム 銅金属間化合物薄膜のLSIメタライゼーシヨン材料への応用
• タイトルよみ: アルミニウム ドウ キンゾク カン カゴウブツ ハクマク ノ LSI メタライゼーシヨン ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 野矢, 厚, 北見工業大学
• 著者標目: 野矢, 厚 ノヤ, アツシ
• 出版年月日等: 1989-1990
• 出版年（W3CDTF）: 1989
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: メタライゼーシヨン材料 メタライゼーシヨンザイリヨウ; 金属間化合物 キンゾクカンカゴウブツ; 薄膜 ハクマク; Cu9Al4 CU9AL4; 金属 半導体界面 キンゾクハンドウタイカイメン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 01550235
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H01550235
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006975276; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975276
• 整理区分コード: 214