アルミニウム 銅金属間化合物薄膜のLSIメタライゼーシヨン材料への応用

• Material Type: 図書
• Title: アルミニウム 銅金属間化合物薄膜のLSIメタライゼーシヨン材料への応用
• Title Transcription: アルミニウム ドウ キンゾク カン カゴウブツ ハクマク ノ LSI メタライゼーシヨン ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 野矢, 厚, 北見工業大学
• Author Heading: 野矢, 厚 ノヤ, アツシ
• Publication Date: 1989-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1989
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: メタライゼーシヨン材料 メタライゼーシヨンザイリヨウ; 金属間化合物 キンゾクカンカゴウブツ; 薄膜 ハクマク; Cu9Al4 CU9AL4; 金属 半導体界面 キンゾクハンドウタイカイメン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01550235
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01550235
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006975276; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975276
• Bibliographic Record Category (NDL): 214