対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発
• タイトルよみ: タイコウ ターゲツトシキ プレーナマグネトロンスパツタリングホウ ニ ヨル ハクマク サクセイ ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 富永, 喜久雄, 徳島大学
• 著者標目: 富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ
• 出版年月日等: 1989-1990
• 出版年（W3CDTF）: 1989
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 対向ターゲツト式スパツタリング法 タイコウターゲツトシキスパツタリングホウ; プレーナマグネトロンスパツタリング プレーナマグネトロンスパツタリング; 酸化亜鉛薄膜 サンカアエンハクマク; 窒化アルミニウム薄膜 チツカアルミニウムハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 01550249
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H01550249
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006975285; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975285
• 整理区分コード: 214