対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発

• Material Type: 図書
• Title: 対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発
• Title Transcription: タイコウ ターゲツトシキ プレーナマグネトロンスパツタリングホウ ニ ヨル ハクマク サクセイ ソウチ ノ カイハツ
• Author/Editor: 富永, 喜久雄, 徳島大学
• Author Heading: 富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ
• Publication Date: 1989-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1989
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 対向ターゲツト式スパツタリング法 タイコウターゲツトシキスパツタリングホウ; プレーナマグネトロンスパツタリング プレーナマグネトロンスパツタリング; 酸化亜鉛薄膜 サンカアエンハクマク; 窒化アルミニウム薄膜 チツカアルミニウムハクマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01550249
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01550249
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006975285; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975285
• Bibliographic Record Category (NDL): 214