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LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究

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LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H01850058
国立国会図書館書誌ID
000006976770
資料種別
図書
著者
三野宮, 利男, 東北大学
出版者
-
出版年
1989-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
LFB チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル デンシ デバイス ザイリョウ ノ トクセイ ヒョウカ ノ システム ノ ジツヨウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
三野宮, 利男, 東北大学
著者標目
三野宮, 利男 サンノミヤ, トシオ
出版年月日等
1989-1990
出版年(W3CDTF)
1989
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究
件名標目
直線集束ビーム超音波顕微鏡 チヨクセンシユウソクビームチヨウオンパケンビキヨウ
V (z) 曲線解析法 V (Z) キヨクセンカイセキホウ
漏洩弾性表面波 ロウエイダンセイヒヨウメンハ
音速・減衰 オンソク・ゲンスイ
電子デバイス材料 デンシデバイスザイリヨウ
定量計測 テイリヨウケイソク
音響特性の不均一 オンキヨウトクセイノフキンイツ
非破壊検査 ヒハカイケンサ