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LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究

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LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H01850058
Bibliographic ID of National Diet Library
000006976770
Material type
図書
Author
三野宮, 利男, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
LFB チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル デンシ デバイス ザイリョウ ノ トクセイ ヒョウカ ノ システム ノ ジツヨウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
三野宮, 利男, 東北大学
Author Heading
三野宮, 利男 サンノミヤ, トシオ
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究
Subject Heading
直線集束ビーム超音波顕微鏡 チヨクセンシユウソクビームチヨウオンパケンビキヨウ
V (z) 曲線解析法 V (Z) キヨクセンカイセキホウ
漏洩弾性表面波 ロウエイダンセイヒヨウメンハ
音速・減衰 オンソク・ゲンスイ
電子デバイス材料 デンシデバイスザイリヨウ
定量計測 テイリヨウケイソク
音響特性の不均一 オンキヨウトクセイノフキンイツ
非破壊検査 ヒハカイケンサ