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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- スパツタケイ ダイ デンリュウ イオン ゲン ノ カイハツ ト ソノ サンカブツ コウオン チョウデンドウタイ ハクマク ケイセイ ヘ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 星, 陽一, 東京工芸大学
- 著者標目
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- 出版年月日等
- 1989-1990
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究
- 件名標目
- スパツタ形イオン源 スパツタケイイオンゲンプラズマ源 プラズマゲン対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウイオンビームデポジツシヨン イオンビームデポジツシヨン金属イオン キンゾクイオン窒化鉄薄膜 チツカテツハクマクCo Cr薄膜 COCRハクマク酸化物超伝導体薄膜 サンカブツチヨウデンドウタイハクマク