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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スパツタケイ ダイ デンリュウ イオン ゲン ノ カイハツ ト ソノ サンカブツ コウオン チョウデンドウタイ ハクマク ケイセイ ヘ ノ オウヨウ
- Author/Editor
- 星, 陽一, 東京工芸大学
- Author Heading
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- Publication Date
- 1989-1990
- Publication Date (W3CDTF)
- 1989
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究
- Subject Heading
- スパツタ形イオン源 スパツタケイイオンゲンプラズマ源 プラズマゲン対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウイオンビームデポジツシヨン イオンビームデポジツシヨン金属イオン キンゾクイオン窒化鉄薄膜 チツカテツハクマクCo Cr薄膜 COCRハクマク酸化物超伝導体薄膜 サンカブツチヨウデンドウタイハクマク