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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハンドウタイ ナイブ ニ キンゾク リョウイキ オ ユウスル チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 大見, 忠弘, 東北大学
- 著者標目
- 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
- 出版年月日等
- 1990-1991
- 出版年(W3CDTF)
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(A)
- 件名標目
- メタルゲート自己整合MOSFET メタルゲートジコセイゴウMOSFETイオン注入層低温アニール イオンチユウニユウソウテイオンアニールCu配線技術 CUハイセンギジユツ超高速配線 チヨウコウソクハイセンエレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン低エネルギイオン照射プロセス テイエネルギイオンシヨウシヤプロセスNON ALLOYING CONTACT NONALLOYINGCONTACT