半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究
• タイトルよみ: ハンドウタイ ナイブ ニ キンゾク リョウイキ オ ユウスル チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 大見, 忠弘, 東北大学
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 出版年月日等: 1990-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(A)
• 件名標目: メタルゲート自己整合MOSFET メタルゲートジコセイゴウMOSFET; イオン注入層低温アニール イオンチユウニユウソウテイオンアニール; Cu配線技術 CUハイセンギジユツ; 超高速配線 チヨウコウソクハイセン; エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン; 低エネルギイオン照射プロセス テイエネルギイオンシヨウシヤプロセス; NON ALLOYING CONTACT NONALLOYINGCONTACT
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 02402031
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H02402031
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006977507; http://id.ndl.go.jp/bib/000006977507
• 整理区分コード: 214