半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究

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Material Type: 図書
Title: 半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究
Title Transcription: ハンドウタイナイブニキンゾクリョウイキオユウスルチョウコウソクシュウセキカイロノケンキュウ
Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
Author Heading: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(A)
Subject Heading: メタルゲート自己整合MOSFET メタルゲートジコセイゴウMOSFET
イオン注入層低温アニールイオンチユウニユウソウテイオンアニール
Cu配線技術 CUハイセンギジユツ
超高速配線チヨウコウソクハイセン
エレクトロマイグレーシヨンエレクトロマイグレーシヨン
低エネルギイオン照射プロセステイエネルギイオンシヨウシヤプロセス
NON ALLOYING CONTACT NONALLOYINGCONTACT
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02402031
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02402031
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006977507
http://id.ndl.go.jp/bib/000006977507
Bibliographic Record Category (NDL): 214