イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価
• タイトルよみ: イオンビームスパツターホウ ニ ヨル キノウセイ セラミツクス ハクマク ノ ゴウセイ ト ヒョウカ
• 著者・編者: 上條, 栄治, 龍谷大学
• 著者標目: 著者 ： 上條, 榮治, 1935- カミジョウ, エイジ, 1935- ( 00877928 )典拠; 竜谷大学 リュウコク ダイガク ( 00298266 )典拠
• 出版年月日等: 1990-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: イオンビームスパツタ成膜 イオンビームスパツタセイマク; イオンアシスト イオンアシスト; セラミツクス セラミツクス; TiN薄膜 TINハクマク; TiO2薄膜 TIO2ハクマク; AIN薄膜 AINハクマク; 結晶配向性 ケツシヨウハイコウセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 02453071
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H02453071
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006978060; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978060
• 整理区分コード: 214