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図書
イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価
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イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価
国立国会図書館請求記号
Y151-H02453071
国立国会図書館書誌ID
000006978060
資料種別
図書
著者
上條, 栄治, 龍谷大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価
タイトルよみ
イオンビームスパツターホウ ニ ヨル キノウセイ セラミツクス ハクマク ノ ゴウセイ ト ヒョウカ
著者・編者
上條, 栄治, 龍谷大学
著者標目
著者 :
上條, 榮治, 1935-
カミジョウ, エイジ, 1935- (
00877928
)
典拠
竜谷大学
リュウコク ダイガク (
00298266
)
典拠
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
イオンビームスパツタ成膜
イオンビームスパツタセイマク
イオンアシスト
イオンアシスト
セラミツクス
セラミツクス
TiN薄膜
TINハクマク
TiO2薄膜
TIO2ハクマク
AIN薄膜
AINハクマク
結晶配向性
ケツシヨウハイコウセイ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
02453071
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H02453071
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000006978060
http://id.ndl.go.jp/bib/000006978060
整理区分コード
214
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