イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価

• Material Type: 図書
• Title: イオンビームスパツター法による機能性セラミツクス薄膜の合成と評価
• Title Transcription: イオンビームスパツターホウ ニ ヨル キノウセイ セラミツクス ハクマク ノ ゴウセイ ト ヒョウカ
• Author/Editor: 上條, 栄治, 龍谷大学
• Author Heading: 著者 ： 上條, 榮治, 1935- カミジョウ, エイジ, 1935- ( 00877928 )Authorities; 竜谷大学 リュウコク ダイガク ( 00298266 )Authorities
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: イオンビームスパツタ成膜 イオンビームスパツタセイマク; イオンアシスト イオンアシスト; セラミツクス セラミツクス; TiN薄膜 TINハクマク; TiO2薄膜 TIO2ハクマク; AIN薄膜 AINハクマク; 結晶配向性 ケツシヨウハイコウセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02453071
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02453071
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006978060; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978060
• Bibliographic Record Category (NDL): 214