傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発
• タイトルよみ: ケイシャ キノウ ザイリョウヨウ ノ チョウビリュウシ セイゾウ ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 本多, 卓也, 東京工業大学
• 著者標目: 本多, 卓也 ホンダ, タクヤ
• 出版年月日等: 1990-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 傾斜機能材料 ケイシヤキノウザイリヨウ; 超微粒子 チヨウビリユウシ; アークプラズマ アークプラズマ; RFプラズマ RFプラズマ; シミユレーシヨン シミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 02453110
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H02453110
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006978095; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978095
• 整理区分コード: 214