傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発

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Material Type: 図書
Title: 傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発
Title Transcription: ケイシャキノウザイリョウヨウノチョウビリュウシセイゾウソウチノカイハツ
Author/Editor: 本多, 卓也, 東京工業大学
Author Heading: 本多, 卓也ホンダ, タクヤ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 傾斜機能材料ケイシヤキノウザイリヨウ
超微粒子チヨウビリユウシ
アークプラズマアークプラズマ
RFプラズマ RFプラズマ
シミユレーシヨンシミユレーシヨン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02453110
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02453110
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006978095
http://id.ndl.go.jp/bib/000006978095
Bibliographic Record Category (NDL): 214