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加工極表面の'その場'評価のための超薄片加工装置の試作

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加工極表面の'その場'評価のための超薄片加工装置の試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H02555017
国立国会図書館書誌ID
000006978710
資料種別
図書
著者
須賀, 唯知, 東京大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カコウキョク ヒョウメン ノ ' ソノ バ ' ヒョウカ ノ タメ ノ チョウハクヘン カコウ ソウチ ノ シサク
著者・編者
須賀, 唯知, 東京大学
著者標目
著者 : 須賀, 唯知, 1953- スガ, タダトモ, 1953- ( 00204636 )典拠
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
デインプラ デインプラ
透過電子顕微鏡観察 トウカデンシケンビキヨウカンサツ
表面損傷 ヒヨウメンソンシヨウ
脆性材料 ゼイセイザイリヨウ
セラミツクス セラミツクス
マイクロクラツク マイクロクラツク
粒界破壊 リユウカイハカイ
メカノケミカルポリシング メカノケミカルポリシング