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図書

加工極表面の'その場'評価のための超薄片加工装置の試作

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加工極表面の'その場'評価のための超薄片加工装置の試作

Call No. (NDL)
Y151-H02555017
Bibliographic ID of National Diet Library
000006978710
Material type
図書
Author
須賀, 唯知, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1990-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
カコウキョク ヒョウメン ノ ' ソノ バ ' ヒョウカ ノ タメ ノ チョウハクヘン カコウ ソウチ ノ シサク
Author/Editor
須賀, 唯知, 東京大学
Author Heading
著者 : 須賀, 唯知, 1953- スガ, タダトモ, 1953- ( 00204636 )Authorities
Publication Date
1990-1991
Publication Date (W3CDTF)
1990
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
デインプラ デインプラ
透過電子顕微鏡観察 トウカデンシケンビキヨウカンサツ
表面損傷 ヒヨウメンソンシヨウ
脆性材料 ゼイセイザイリヨウ
セラミツクス セラミツクス
マイクロクラツク マイクロクラツク
粒界破壊 リユウカイハカイ
メカノケミカルポリシング メカノケミカルポリシング