5自由度制御型能動空気軸受の試作研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 5自由度制御型能動空気軸受の試作研究
• タイトルよみ: 5 ジユウド セイギョガタ ノウドウ クウキ ジクウケ ノ シサク ケンキュウ
• 著者・編者: 下河辺, 明, 東京工業大学
• 著者標目: 下河辺, 明 シモコウベ, アキラ
• 出版年月日等: 1990-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 空気軸受 クウキジクウケ; 能動空気軸受 ノウドウクウキジクウケ; 能動制振 ノウドウセイシン; 超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ; 圧電素子 アツデンソシ; 超精密機構 チヨウセイミツキコウ; メカトロニクス メカトロニクス
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 02555026
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H02555026
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006978719; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978719
• 整理区分コード: 214