5自由度制御型能動空気軸受の試作研究

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Material Type: 図書
Title: 5自由度制御型能動空気軸受の試作研究
Title Transcription: 5 ジユウドセイギョガタノウドウクウキジクウケノシサクケンキュウ
Author/Editor: 下河辺, 明, 東京工業大学
Author Heading: 下河辺, 明シモコウベ, アキラ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 空気軸受クウキジクウケ
能動空気軸受ノウドウクウキジクウケ
能動制振ノウドウセイシン
超精密位置決めチヨウセイミツイチギメ
圧電素子アツデンソシ
超精密機構チヨウセイミツキコウ
メカトロニクスメカトロニクス
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02555026
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02555026
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006978719
http://id.ndl.go.jp/bib/000006978719
Bibliographic Record Category (NDL): 214