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プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作

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プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H02555048
国立国会図書館書誌ID
000006978739
資料種別
図書
著者
大塚, 二郎, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラスチツク コウゾウ ニ ヨル コウソクガタ チョウセイミツ イチギメ ソウチ ノ シサク
著者・編者
大塚, 二郎, 東京工業大学
著者標目
大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )典拠
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
プラスチツク プラスチツク
ナノメータ ナノメータ
高速位置決め コウソクイチギメ
フイードバツク制御 フイードバツクセイギヨ