プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作

• Material Type: 図書
• Title: プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作
• Title Transcription: プラスチツク コウゾウ ニ ヨル コウソクガタ チョウセイミツ イチギメ ソウチ ノ シサク
• Author/Editor: 大塚, 二郎, 東京工業大学
• Author Heading: 大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )Authorities
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ; プラスチツク プラスチツク; ナノメータ ナノメータ; 高速位置決め コウソクイチギメ; フイードバツク制御 フイードバツクセイギヨ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02555048
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02555048
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006978739; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978739
• Bibliographic Record Category (NDL): 214