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光微分照射デイープ・エツチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

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光微分照射デイープ・エツチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H02559005
国立国会図書館書誌ID
000006979045
資料種別
図書
著者
外崎, 昭, 山形大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ ビブン ショウシャ デイープ ・ エツチング ノ タメ ノ コウセイノウ シンクウ ジョウチャク ソウチ ノ シサク ト オウヨウ
著者・編者
外崎, 昭, 山形大学
著者標目
外崎, 昭 トノサキ, アキラ
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
クリーン真空蒸着装置 クリーンシンクウジヨウチヤクソウチ
凍結レプリカ法 トウケツレプリカホウ
デイープ・エツチング・レプリカ法 デイープ・エツチング・レプリカホウ
集束光による表面昇華 シユウソクヒカリニヨルヒヨウメンシヨウカ
生体膜 セイタイマク