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光微分照射デイープ・エツチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

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光微分照射デイープ・エツチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

Call No. (NDL)
Y151-H02559005
Bibliographic ID of National Diet Library
000006979045
Material type
図書
Author
外崎, 昭, 山形大学
Publisher
-
Publication date
1990-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ヒカリ ビブン ショウシャ デイープ ・ エツチング ノ タメ ノ コウセイノウ シンクウ ジョウチャク ソウチ ノ シサク ト オウヨウ
Author/Editor
外崎, 昭, 山形大学
Author Heading
外崎, 昭 トノサキ, アキラ
Publication Date
1990-1991
Publication Date (W3CDTF)
1990
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
クリーン真空蒸着装置 クリーンシンクウジヨウチヤクソウチ
凍結レプリカ法 トウケツレプリカホウ
デイープ・エツチング・レプリカ法 デイープ・エツチング・レプリカホウ
集束光による表面昇華 シユウソクヒカリニヨルヒヨウメンシヨウカ
生体膜 セイタイマク