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スパツタリング薄膜の組成均一性に及ぼす原子の放出角度分布の影響

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スパツタリング薄膜の組成均一性に及ぼす原子の放出角度分布の影響

国立国会図書館請求記号
Y151-H02650038
国立国会図書館書誌ID
000006979487
資料種別
図書
著者
山崎, 登志成, 富山大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スパツタリング ハクマク ノ ソセイ キンイツセイ ニ オヨボス ゲンシ ノ ホウシュツ カクド ブンプ ノ エイキョウ
著者・編者
山崎, 登志成, 富山大学
著者標目
山崎, 登志成 ヤマザキ, トシナリ
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
スパツタ スパツタ
角度分布 カクドブンプ
薄膜 ハクマク
均一性 キンイツセイ
モリブデンシリサイド モリブデンシリサイド
膜厚 マクアツ
組成 ソセイ