スパツタリング薄膜の組成均一性に及ぼす原子の放出角度分布の影響

• Material Type: 図書
• Title: スパツタリング薄膜の組成均一性に及ぼす原子の放出角度分布の影響
• Title Transcription: スパツタリング ハクマク ノ ソセイ キンイツセイ ニ オヨボス ゲンシ ノ ホウシュツ カクド ブンプ ノ エイキョウ
• Author/Editor: 山崎, 登志成, 富山大学
• Author Heading: 山崎, 登志成 ヤマザキ, トシナリ
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: スパツタ スパツタ; 角度分布 カクドブンプ; 薄膜 ハクマク; 均一性 キンイツセイ; モリブデンシリサイド モリブデンシリサイド; 膜厚 マクアツ; 組成 ソセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02650038
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02650038
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006979487; http://id.ndl.go.jp/bib/000006979487
• Bibliographic Record Category (NDL): 214