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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- スパツタケイ プラズマ ゲン ニ ヨル ハクマク ヘツドヨウ キョダイ ホウワ ジカ チッカテツナンジセイ ハクマク ノ サクセイ
- 著者・編者
- 星, 陽一, 東京工芸大学
- 著者標目
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- 出版年月日等
- 1990-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 窒化鉄薄膜 チツカテツハクマクイオンビームデポジツシヨン イオンビームデポジツシヨン対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウスパツタ形プラズマ源 スパツタケイプラズマゲン軟磁性膜 ナンジセイマク