スパツタ形プラズマ源による薄膜ヘツド用巨大飽和磁化窒化鉄軟磁性薄膜の作製

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Material Type: 図書
Title: スパツタ形プラズマ源による薄膜ヘツド用巨大飽和磁化窒化鉄軟磁性薄膜の作製
Title Transcription: スパツタケイプラズマゲンニヨルハクマクヘツドヨウキョダイホウワジカチッカテツナンジセイハクマクノサクセイ
Author/Editor: 星, 陽一, 東京工芸大学
Author Heading: 星, 陽一ホシ, ヨウイチ
Publication Date: 1990-1992
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 窒化鉄薄膜チツカテツハクマク
イオンビームデポジツシヨンイオンビームデポジツシヨン
対向ターゲツト式スパツタ法タイコウターゲツトシキスパツタホウ
スパツタ形プラズマ源スパツタケイプラズマゲン
軟磁性膜ナンジセイマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02650229
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02650229
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006979590
http://id.ndl.go.jp/bib/000006979590
Bibliographic Record Category (NDL): 214