高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析
• タイトルよみ: コウブンカイノウ マイクロエリプソメータ ニ ヨル カゴウブツ ハクマク ノ キョクショ カイセキ
• 著者・編者: 杉本, 克久, 東北大学
• 著者標目: 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ
• 出版年月日等: 1990-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: エリプソメトリー エリプソメトリー; マイクロエリプソメータ マイクロエリプソメータ; 膜厚 マクアツ; 複素屈折率 フクソクツセツリツ; プラズマCVD プラズマCVD
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 02650505
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H02650505
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006979751; http://id.ndl.go.jp/bib/000006979751
• 整理区分コード: 214