高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析

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Material Type: 図書
Title: 高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析
Title Transcription: コウブンカイノウマイクロエリプソメータニヨルカゴウブツハクマクノキョクショカイセキ
Author/Editor: 杉本, 克久, 東北大学
Author Heading: 杉本, 克久スギモト, カツヒサ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: エリプソメトリーエリプソメトリー
マイクロエリプソメータマイクロエリプソメータ
膜厚マクアツ
複素屈折率フクソクツセツリツ
プラズマCVD プラズマCVD
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02650505
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02650505
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006979751
http://id.ndl.go.jp/bib/000006979751
Bibliographic Record Category (NDL): 214