シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究
• タイトルよみ: シリコン ヒョウメン ニ オケル シリョウ ツウデン コウカ ノ ハンシャ デンシ ケンビキョウホウ ニ ヨル ケンキュウ
• 著者・編者: 八木, 克道, 東京工業大学
• 著者標目: 八木, 克道 ヤギ, カツミチ
• 出版年月日等: 1991-1992
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン; 表面電流効果 ヒヨウメンデンリユウコウカ; シリコン表面 シリコンヒヨウメン; Si (111) 相転移 SI (111) ソウテンイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 03452077
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H03452077
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006981827; http://id.ndl.go.jp/bib/000006981827
• 整理区分コード: 214