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シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究

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シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究

Call No. (NDL)
Y151-H03452077
Bibliographic ID of National Diet Library
000006981827
Material type
図書
Author
八木, 克道, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコン ヒョウメン ニ オケル シリョウ ツウデン コウカ ノ ハンシャ デンシ ケンビキョウホウ ニ ヨル ケンキュウ
Author/Editor
八木, 克道, 東京工業大学
Author Heading
八木, 克道 ヤギ, カツミチ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン
表面電流効果 ヒヨウメンデンリユウコウカ
シリコン表面 シリコンヒヨウメン
Si (111) 相転移 SI (111) ソウテンイ