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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウサ ビーム ケイコウ イメージングホウ ニ ヨル フリーラジカル ト コタイ ヒョウメン ノ ソウゴ サヨウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 橘, 邦英, 京都工芸繊維大学
- 著者標目
- 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
- 出版年月日等
- 1991-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- 表面反応計測 ヒヨウメンハンノウケイソクラジカルビーム ラジカルビームレーザー誘起蛍光法 レーザーユウキケイコウホウシラン系ラジカル シランケイラジカル原子状ラジカル ゲンシジヨウラジカル水素化非晶質シリコン スイソカヒシヨウシツシリコンシリコン酸化反応速度 シリコンサンカハンノウソクド