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図書

交差ビーム蛍光イメージング法によるフリーラジカルと固体表面の相互作用の研究

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交差ビーム蛍光イメージング法によるフリーラジカルと固体表面の相互作用の研究

Call No. (NDL)
Y151-H03452079
Bibliographic ID of National Diet Library
000006981829
Material type
図書
Author
橘, 邦英, 京都工芸繊維大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウサ ビーム ケイコウ イメージングホウ ニ ヨル フリーラジカル ト コタイ ヒョウメン ノ ソウゴ サヨウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
橘, 邦英, 京都工芸繊維大学
Author Heading
橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
表面反応計測 ヒヨウメンハンノウケイソク
ラジカルビーム ラジカルビーム
レーザー誘起蛍光法 レーザーユウキケイコウホウ
シラン系ラジカル シランケイラジカル
原子状ラジカル ゲンシジヨウラジカル
水素化非晶質シリコン スイソカヒシヨウシツシリコン
シリコン酸化反応速度 シリコンサンカハンノウソクド