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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウサ ビーム ケイコウ イメージングホウ ニ ヨル フリーラジカル ト コタイ ヒョウメン ノ ソウゴ サヨウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 橘, 邦英, 京都工芸繊維大学
- Author Heading
- 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
- Publication Date
- 1991-1992
- Publication Date (W3CDTF)
- 1991
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 表面反応計測 ヒヨウメンハンノウケイソクラジカルビーム ラジカルビームレーザー誘起蛍光法 レーザーユウキケイコウホウシラン系ラジカル シランケイラジカル原子状ラジカル ゲンシジヨウラジカル水素化非晶質シリコン スイソカヒシヨウシツシリコンシリコン酸化反応速度 シリコンサンカハンノウソクド