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フエリ磁性体/強誘電体エピタキシヤル多層膜の作製と光導波デバイスへの応用

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フエリ磁性体/強誘電体エピタキシヤル多層膜の作製と光導波デバイスへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H03452151
国立国会図書館書誌ID
000006981898
資料種別
図書
著者
直江, 正彦, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
フエリ ジセイタイ/キョウ ユウデンタイ エピタキシヤル タソウマク ノ サクセイ ト ヒカリドウハ デバイス ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
直江, 正彦, 東京工業大学
著者標目
直江, 正彦 ナオエ, マサヒコ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
フエリ磁性体薄膜 フエリジセイタイハクマク
強誘電体薄膜 キヨウユウデンタイハクマク
多層膜 タソウマク
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウ