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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- フエリ ジセイタイ/キョウ ユウデンタイ エピタキシヤル タソウマク ノ サクセイ ト ヒカリドウハ デバイス ヘ ノ オウヨウ
- Author/Editor
- 直江, 正彦, 東京工業大学
- Author Heading
- 直江, 正彦 ナオエ, マサヒコ
- Publication Date
- 1991-1992
- Publication Date (W3CDTF)
- 1991
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- フエリ磁性体薄膜 フエリジセイタイハクマク強誘電体薄膜 キヨウユウデンタイハクマク多層膜 タソウマクエピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウ