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スレスレ入射回折(GID)法による多層薄膜構造解析システムの開発

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スレスレ入射回折(GID)法による多層薄膜構造解析システムの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H03452293
国立国会図書館書誌ID
000006982025
資料種別
図書
著者
虎谷, 秀穂, 名古屋工業大学
出版者
-
出版年
1991-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スレスレ ニュウシャ カイセツ(GID)ホウ ニ ヨル タソウ ハクマク コウゾウ カイセキ システム ノ カイハツ
著者・編者
虎谷, 秀穂, 名古屋工業大学
著者標目
虎谷, 秀穂 トラヤ, ヒデオ
出版年月日等
1991-1993
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
スレスレ入射回折 スレスレニユウシヤカイセツ
非対称反射 ヒタイシヨウハンシヤ
平行ビーム系 ヘイコウビームケイ
薄膜 ハクマク
表面構造 ヒヨウメンコウゾウ
解析用ソフトウエアー カイセキヨウソフトウエアー