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スレスレ入射回折(GID)法による多層薄膜構造解析システムの開発

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スレスレ入射回折(GID)法による多層薄膜構造解析システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H03452293
Bibliographic ID of National Diet Library
000006982025
Material type
図書
Author
虎谷, 秀穂, 名古屋工業大学
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スレスレ ニュウシャ カイセツ(GID)ホウ ニ ヨル タソウ ハクマク コウゾウ カイセキ システム ノ カイハツ
Author/Editor
虎谷, 秀穂, 名古屋工業大学
Author Heading
虎谷, 秀穂 トラヤ, ヒデオ
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
スレスレ入射回折 スレスレニユウシヤカイセツ
非対称反射 ヒタイシヨウハンシヤ
平行ビーム系 ヘイコウビームケイ
薄膜 ハクマク
表面構造 ヒヨウメンコウゾウ
解析用ソフトウエアー カイセキヨウソフトウエアー