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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- テイソンショウ マスクレス 3 ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 蒲生, 健次, 大阪大学
- 著者標目
- 蒲生, 健次 ガモウ, ケンジ
- 出版年月日等
- 1991-1992
- 出版年(W3CDTF)
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- 集束イオンビーム加工 シユウソクイオンビームカコウ低損傷プロセス テイソンシヨウプロセス低エネルギーイオンビーム テイエネルギーイオンビーム減速電界レンズ系 ゲンソクデンカイレンズケイイオンビーム支援エツチング イオンビームシエンエツチングイオン照射損傷 イオンシヨウシヤソンシヨウ