低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発
Title Transcription: テイソンショウマスクレス 3 ジゲンビサイカコウギジュツノカイハツ
Author/Editor: 蒲生, 健次, 大阪大学
Author Heading: 蒲生, 健次ガモウ, ケンジ
Publication Date: 1991-1992
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 集束イオンビーム加工シユウソクイオンビームカコウ
低損傷プロセステイソンシヨウプロセス
低エネルギーイオンビームテイエネルギーイオンビーム
減速電界レンズ系ゲンソクデンカイレンズケイ
イオンビーム支援エツチングイオンビームシエンエツチング
イオン照射損傷イオンシヨウシヤソンシヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03555003
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H03555003
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006982768
http://id.ndl.go.jp/bib/000006982768
Bibliographic Record Category (NDL): 214