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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウヒンシツ ハクマク ケイセイヨウ トロイダルプラズマシキ スパツタ ソウチ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 高橋, 隆一, 富山大学
- 著者標目
- 高橋, 隆一 タカハシ, タカカズ
- 出版年月日等
- 1991-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- トロイダルプラズマ トロイダルプラズマプラズマフリー プラズマフリースパツタ装置 スパツタソウチ薄膜 ハクマク半導体用電極材料 ハンドウタイヨウデンキヨクザイリヨウ緻密・均一性 チミツ・キンイツセイエレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨンストレスマイグレーシヨン ストレスマイグレーシヨン