高品質薄膜形成用トロイダルプラズマ式スパツタ装置の開発

• Material Type: 図書
• Title: 高品質薄膜形成用トロイダルプラズマ式スパツタ装置の開発
• Title Transcription: コウヒンシツ ハクマク ケイセイヨウ トロイダルプラズマシキ スパツタ ソウチ ノ カイハツ
• Author/Editor: 高橋, 隆一, 富山大学
• Author Heading: 高橋, 隆一 タカハシ, タカカズ
• Publication Date: 1991-1992
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: トロイダルプラズマ トロイダルプラズマ; プラズマフリー プラズマフリー; スパツタ装置 スパツタソウチ; 薄膜 ハクマク; 半導体用電極材料 ハンドウタイヨウデンキヨクザイリヨウ; 緻密・均一性 チミツ・キンイツセイ; エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン; ストレスマイグレーシヨン ストレスマイグレーシヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03555058
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03555058
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006982820; http://id.ndl.go.jp/bib/000006982820
• Bibliographic Record Category (NDL): 214