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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- デスク ・ トツプガタ チョウコウソク スパツタ ソウチ ノ シサク ト キンゾク-ハンドウタイソウ テンイ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 水谷, 宇一郎, 名古屋大学
- 著者標目
- 著者 ： 水谷, 宇一郎, 1942- ミズタニ, ウイチロウ, 1942- ( 00393460 )典拠
- 出版年月日等
- 1991-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- アモルフアス アモルフアスデスク・トツプ型スパツタ装置 デスク・トツプガタスパツタソウチ金属-半導体相転移 キンゾクーハンドウタイソウテンイ