デスク・トツプ型超高速スパツタ装置の試作と金属-半導体相転移の研究

• Material Type: 図書
• Title: デスク・トツプ型超高速スパツタ装置の試作と金属-半導体相転移の研究
• Title Transcription: デスク ・ トツプガタ チョウコウソク スパツタ ソウチ ノ シサク ト キンゾク-ハンドウタイソウ テンイ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 水谷, 宇一郎, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 水谷, 宇一郎, 1942- ミズタニ, ウイチロウ, 1942- ( 00393460 )Authorities
• Publication Date: 1991-1992
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: アモルフアス アモルフアス; デスク・トツプ型スパツタ装置 デスク・トツプガタスパツタソウチ; 金属-半導体相転移 キンゾクーハンドウタイソウテンイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03555140
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03555140
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006982895; http://id.ndl.go.jp/bib/000006982895
• Bibliographic Record Category (NDL): 214