エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

• 資料種別: 図書
• タイトル: エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製
• タイトルよみ: エキシマーレーザー CVD ニ ヨル コウセイノウ イオン ドウデンセイ チョウコウシ ハクマク ノ ソウセイ
• 著者・編者: 嵐, 治夫, 東北大学
• 著者標目: 嵐, 治夫 アラシ, ハルオ
• 出版年月日等: 1991-1992
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 光CVD ヒカリCVD; エキシマーレーザー エキシマーレーザー; イオン導電体 イオンドウデンタイ; 薄膜 ハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 03555163
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H03555163
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006982917; http://id.ndl.go.jp/bib/000006982917
• 整理区分コード: 214