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図書

エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

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エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

Call No. (NDL)
Y151-H03555163
Bibliographic ID of National Diet Library
000006982917
Material type
図書
Author
嵐, 治夫, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
エキシマーレーザー CVD ニ ヨル コウセイノウ イオン ドウデンセイ チョウコウシ ハクマク ノ ソウセイ
Author/Editor
嵐, 治夫, 東北大学
Author Heading
嵐, 治夫 アラシ, ハルオ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
光CVD ヒカリCVD
エキシマーレーザー エキシマーレーザー
イオン導電体 イオンドウデンタイ
薄膜 ハクマク