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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヒョウカ テストパターン オ モチイタ エピタキシヤル Si ライフタイム ノ サンジゲン ブンプ ケイソク ギジュツ
- 著者・編者
- 宇佐美, 晶, 名古屋工業大学
- 著者標目
- 宇佐美, 晶 ウサミ, アキラ
- 出版年月日等
- 1991-1993
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- エピタキシヤルSi層のライフタイム エピタキシヤルSIソウノライフタイムライフタイム測定システム ライフタイムソクテイシステム三次元分布 3ジゲンブンプエピ層と基板界面付近のライフタイム エピソウトキバンカイメンフキンノライフタイムバツフアー層 バツフアーソウライフタイム及び逆方向電流の改善 ライフタイムオヨビギヤクホウコウデンリユウノカイゼンホトダイオード ホトダイオードエピ層中の酸素ドナー エピソウチユウノサンソドナー