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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ヒョウカ テストパターン オ モチイタ エピタキシヤル Si ライフタイム ノ サンジゲン ブンプ ケイソク ギジュツ
- Author/Editor
- 宇佐美, 晶, 名古屋工業大学
- Author Heading
- 宇佐美, 晶 ウサミ, アキラ
- Publication Date
- 1991-1993
- Publication Date (W3CDTF)
- 1991
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)
- Subject Heading
- エピタキシヤルSi層のライフタイム エピタキシヤルSIソウノライフタイムライフタイム測定システム ライフタイムソクテイシステム三次元分布 3ジゲンブンプエピ層と基板界面付近のライフタイム エピソウトキバンカイメンフキンノライフタイムバツフアー層 バツフアーソウライフタイム及び逆方向電流の改善 ライフタイムオヨビギヤクホウコウデンリユウノカイゼンホトダイオード ホトダイオードエピ層中の酸素ドナー エピソウチユウノサンソドナー