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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- コウダンセイ ヒショウシツ ハクマク ノ カイハツ
- 著者・編者
- 花田, 禎一, 京都大学
- 著者標目
- 花田, 禎一 ハナダ, テイイチ
- 出版年月日等
- 1991-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 非晶質薄膜 ヒシヨウシツハクマク高周波スパツタリング コウシユウハスパツタリングヤング率 ヤングリツアルミナーチタニア非晶質薄膜 アルミナーチタニアヒシヨウシツハクマク高弾性 コウダンセイ窒化アルミニウム非晶質 チツカアルミニウムヒシヨウシツ