高弾性非晶質薄膜の開発

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Material Type: 図書
Title: 高弾性非晶質薄膜の開発
Title Transcription: コウダンセイヒショウシツハクマクノカイハツ
Author/Editor: 花田, 禎一, 京都大学
Author Heading: 花田, 禎一ハナダ, テイイチ
Publication Date: 1991-1992
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 非晶質薄膜ヒシヨウシツハクマク
高周波スパツタリングコウシユウハスパツタリング
ヤング率ヤングリツ
アルミナーチタニア非晶質薄膜アルミナーチタニアヒシヨウシツハクマク
高弾性コウダンセイ
窒化アルミニウム非晶質チツカアルミニウムヒシヨウシツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03650623
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H03650623
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006983891
http://id.ndl.go.jp/bib/000006983891
Bibliographic Record Category (NDL): 214