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電子の低温化に伴うプラズマ基礎現象の変化

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電子の低温化に伴うプラズマ基礎現象の変化

国立国会図書館請求記号
Y151-H03680002
国立国会図書館書誌ID
000006984876
資料種別
図書
著者
飯塚, 哲, 東北大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシ ノ テイオンカ ニ トモナウ プラズマ キソ ゲンショウ ノ ヘンカ
著者・編者
飯塚, 哲, 東北大学
著者標目
飯塚, 哲 イイヅカ, サトル
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
低エネルギー電子 テイエネルギーデンシ
プラズマプロセス プラズマプロセス
高周波放電 コウシユウハホウデン
室温プラズマ シツオンプラズマ
ホロー陰極 ホローインキヨク
電子温度制御 デンシオンドセイギヨ
プラズマ化学 プラズマカガク
反応性プラズマ ハンノウセイプラズマ